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41.
CVD金刚石薄膜的界面能量分析 总被引:2,自引:0,他引:2
分析了CVD金刚石薄膜的界面能量情况,并由此研究了金刚石成核几率、晶核取向、附着强度与基底材料结构和性能的关系 相似文献
42.
用非平衡热力学耦合模型首次获得了由CH4/CO2体系化学气相淀积金刚石的相图。该相图与用经典平衡热力学得 结果不同,相图中出现了1个金刚石的生长区,相图中的金刚石生长区是实现金刚石气相生长的热力学基础,它的存在体现了超平衡氢原子等激活粒子对石墨的激活和对金刚石的稳定作用。 相似文献
43.
从等离子体发射光谱变化这一角度研究在不同沉积条件下等离子体中电子平均能量的特点,分析碳源气体分析与电子的碰撞以及碳氢基团的能态变化,从而对等离子体法沉积金刚石薄膜微观机理进行初步探索。 相似文献
44.
本文研究了在HF—CVD法中,衬底温度Ts对PETEOS(等离子体增强正硅酸乙酯)氧化硅—硅衬底上选择性生长金刚石薄膜的影响。结果表明:Ts变化影响PETEOS氧化硅掩蔽层区域和硅表面金刚石晶粒成核密度。Ts较低时(750—820℃),PETEOS氧化硅区域成核密度远小于裸露硅表面;随Ts升高(>820℃),氧化硅区域成核密度增加很快;当Ts>850℃时,氧化硅区域成核密度超过硅表面。 相似文献
45.
46.
本文研究了用热解CVD方法合成的金刚石的结晶特性,并与用高温高压法合成的金刚石的结晶特性做了比较。 相似文献
47.
利用热丝大面积金刚石薄膜气相合成(CVD)装备制备了复合金刚石薄膜,并对其表面和断面分别进行了扫描电镜(SEM),原子力显微镜(AFM)和Raman光谱表征,研究了该复合结构的介电性能,利用共振电路测量了高频下薄膜的介质损耗与频率的关系,结果表明,复合结构由普通多晶金刚石薄膜和纳米金刚石薄膜组成,薄膜的表层结构体现了纳 米金刚石的特征,复合金刚石薄膜不仅具有表面光滑的优点,介电性能也接近于常规的多晶金刚石薄膜,是一种较好的电子材料,可应用于金刚石薄膜半导体器件的制备。 相似文献
48.
在分析金刚石锯片刀头运动轨迹的基础上,根据金刚石锯片的切削运动方程,得出了金刚石磨粒最大切削厚度的计算公式,提出了切削过程中两个新的观点:(1)单颗粒金刚石锯切掉的岩石其水平距离是不变的;(2)切削厚度是按正弦规律变化的,这给锯片设计和正确使用提供了可靠的依据 相似文献
49.
50.
衣德学 《济南大学学报(自然科学版)》1994,(2)
郯城金刚石砂矿属冲积层产状被破坏的阶地砂矿,金刚石产在残余二阶地冲积砂砾层中,金刚石颗粒大,宝石级金刚石较多,是宝石工业的重要原料基地。 相似文献